众所周知,一颗小小的芯片是由一整片晶圆切割而来,而整片的晶圆又是在硅片上刻制而成,硅片来自于硅棒的切割,硅棒来自于硅锭,硅锭来自于硅料,硅料源于硅石,硅石又称石英砂,是一种地球上广泛存在的矿石,从一块普通的硅石,一步步演化为价值千金的芯片,因此说半导体是点石成金是名副其实。
硅料与硅片之所以重要,因为它决定着一块芯片的基础性能,如果把芯片比作一个孩子,版图设计算是后天培养,硅料与硅片就是它的先天基因,前面的文章已经介绍了晶圆的生产和封装过程,今天就来梳理一下上游从硅石到硅片的过程,并对参与该链条的主要企业做简要介绍。
首先是硅料环节,是将硅石和和碳一起扔进石墨炉子里高温融化,通过化学反应把硅石里的硅提取出来,这一步既能生成硅单质(硅锭),又能生成碳化硅(风头正盛的第三代半导体材料),得到硅锭之后,硅的纯度还是不够的,有必要进行提纯,一般是先用盐酸把硅氧化成三氯硅烷,再通过氢气还原三氯硅烷得到高纯度的多晶硅,在多晶硅的的生产的基本工艺里,一般有硅烷法和改良西门子法这两种方式,目前主流方法为改良西门子法,还原炉是多晶硅生产的核心设备之一,多晶硅物理形态为磨砂款硅棒。
多晶硅主要有两个用途,进一步加工后,纯度较低的(99.9999%,俗称6个9)叫光伏级多晶硅,拿去做太阳能电池板,纯度较高的(99.9999999%,俗称9个9),叫电子级多晶硅,用于半导体制造,拿去生成半导体大硅片
虽然在半导体领域我国和欧美国家差距还很大,但是在光伏领域已经是绝对的全球龙头,打得国外企业丢盔弃甲,因此作为光伏上游的硅料,自然也是我国的强势领域,中国占据了全球80%以上的市场份额
高纯多晶硅产能世界第一,公司前身是1986年成立的四川眉山县渔用配合饲料厂,由刘汉元一手打造,公司做饲料起家,远销海外,打下了扎实的基本盘,2004年上交所上市,2006年底进军多晶硅产业,在乐山建立生产基地,熬过了2008年开始的光伏危机,期间攻克技术难题、奠定多晶硅的成本优势;2013年收购合肥赛维(电池片企业)、2011年成立通威新能源(光伏电站企业),积极向产业链中下游延伸布局,形成了硅料-硅片-电池片-光伏电站较为完整的光伏产业链 ,并提出了渔光一体(鱼塘上铺光伏)的新模式,2019年行业反转时,享尽产业红利,目前公司已成为多晶硅和太阳能电池有突出贡献的公司,截至 2022 年末,多晶硅年产能 23 万吨,太阳能电池年产能 70GW
国内多晶硅行业龙头之一,公司前身为江苏长江电气集团有限公司,2004年更名为大全集团有限公司,并于2007年在重庆投资建设多晶硅生产基地,进入新能源产业,2010年大全新能源在美国纽交所上市。在此基础上,2011年大全能源成立于新疆石河子,公司实际控制人为徐广福,徐翔父子,成立以来专注多晶硅领域(营收占比超90%),大多数都用在加工硅锭、硅片、电池片和电池组件等太阳能光伏产品,公司下游客户包括隆基股份、晶科能源、上机数控、晶澳科技等有名的公司。2020年大全能源年产能达7万吨,产能规模跃居行业第一梯队,2021年成功科创板上市,公司目前在全力发展N型硅料,扩张半导体硅料产能,由光伏向半导体延伸
国内颗粒硅龙头,由业界大佬朱共山从电力行业拓展而来,企业成立于2006年,布局多晶硅生产,2007年便在香港上市,2009年收购硅料企业江苏中能,一跃成为全世界领先的硅料供应商,2010年进军硅片业务,2011年进军光伏电站业务,在随后的行业下行期主动让利下游组件,潜心研发技术,2012年,公司顺利产出标准硅烷气,搭配硅烷流化床法工艺,实现颗粒硅千吨级中试。2017年,公司收购SunEdison,推进CCz与颗粒硅技术在国内落地,2021年至今,颗粒硅大规模量产,2022年底颗粒硅有效产能达14万吨,占全球有效产能10%,进入电子级多晶硅水平,此外,公司自2017年起,已前瞻布局了钙钛矿产业
国内多晶硅第一梯队,特变电工全资子公司,原名特变硅业,成立于2008,公司于2011年股权收购特变电工旗下的新疆新能源,增加了风能、光伏电站的建设和运营业务。2012年特变硅业整体改制为新特能源。2015年12月,公司H股在香港联交所主板上市,目前正在冲刺A股,力争A+H,2022年,新特能源多晶硅出货量10.67万吨,业务收入257亿元,占新特能源总营收近70%,由于硅料行业马太效应明显,因此公司正加足马力,扩大产能
说完了硅料,再说说硅片,对半导体行业来说,硅片企业拿到电子级纯度的多晶硅,首先就是要拉单晶,能够理解将磨砂款的硅棒制作成镜面款的硅棒,一般有区熔法(FZ)和直拉法两种工艺,区熔法纯度高,氧含量低,电阻率高,能耐高压,但工艺难度大,大尺寸硅片制备困难且成本高,因为因此主要用来制作小尺寸硅片,进而制成功率器件。直拉法(CZ)工艺成熟,成本低,能产出大尺寸单晶硅棒,切成大尺寸硅片,用以制造各类芯片减少相关成本,因此直拉法为市场主流工艺,核心设备是单晶炉,拉出单晶硅棒之后需要把它磨成相同直径,然后切片(一般都会采用线切),切完后再倒角、研磨、蚀刻、抛光、清洁、检查等环节,最终制程合格的硅片,送到晶圆厂去刻电路。
硅片起源于美国,孟山都旗下的MEMC(2016年被环球晶圆收购)是全球第一家量产4英寸,8英寸硅片的厂商,20世纪50年代硅片产业向亚洲转移,日本、台湾、韩国等地快速地发展,诞生了一批世界巨头,包括了信越化学、日本胜高,台湾环球晶圆等,根据2020年数据,硅片领域全球市场格局如下:
我国硅片行业发展较晚,规模化量产时间落后海外十年以上,其中 8 英寸半导体硅片海外量产时间为1984 年,我国立昂微量产时间为 2009 年;12 英寸半导体硅片海外量产时间为2001 年,我国上海新昇量产时间为 2018 年,再者,即使产品产出了,要卖给晶圆厂,一般还需要5年以上的认证过程,因此做硅片个苦活累活
随着贸易战打响,国际关系紧张,在国产替代呼声越来越强的背景下,我国硅片领域也在奋起直追,迎头赶上,他们中的典型企业有以下:
国内硅片领域有突出贡献的公司(2021年市占率19%),2015年由国盛集团(35%)、集成电路大基金(35%)作为主发起人出资设立,注册资本20亿,分期缴足。公司2016年收购上海新昇、芬兰Okmeitc,分别研发生产12寸大硅片和8寸及以下硅片,并入股全球SOI硅片龙头公司法国Soitec(11%),2019年,收购前期参股的上海新傲,主要生产8寸及以下硅片;2020年设立上海新硅,研发生产集成材料衬底。目前公司高管为前中芯国际及贝岭高管李炜博士,公司2021年登陆科创板
国内硅片领域第二大供应商(2021年市占率15.6%),公司前身为创立于1958年的天津市半导体材料厂,1969年开始做半导体单晶硅的研发制备,1981年开始拓展赛道成为国内最早一批进入光伏领域的企业,2007年在深交所上市并在2020年完成混改成为TCL科技集团旗下公司,公司主要营业业务包括半导体和光伏(主导)两个板块 ,在半导体硅片领域的业务载体是子公司中环领先(2017年底成立),系由TCL中环、无锡产业集团、晶盛机电等合资设立,同时掌握全系列直拉法和区熔法工艺,依托总投资30亿美元的集成电路用大硅片项目,整合内蒙古、天津、江苏三地优势资源,进行全国化产业布局,2023年2月,中环领先以换股的形式全资收购鑫芯半导体(12寸硅片制造,厂在徐州,20年投产,评估值77.6亿)
我国第三大硅晶圆供应商(2021年国内市占率11.2%),前身是2000年背靠浙江大学成立的立立电子,在校企分离后立立电子取得大量资产,曾于2008年申请上市,但由于存在关联关系且出售国有资产程序存在瑕疵而失败,2015年,立昂微(2002年在杭州成立的立昂电子)取得立立电子控制权并更名为金瑞泓,通过参与国家“02专项”逐步进入我国半导体硅片第一梯队,但其8英寸硅片占比较大,押注汽车电子、工业电子、物联网等下游的爆发,目前公司分为半导体硅片60%、半导体功率器件(38%)与化合物半导体射频芯片(2%)三大模块,2020年上交所主板上市
国内12寸大硅片后起之秀,实控人为京东方原董事长,业界大佬王东升,再往后穿透,操盘人为法人股大王刘益谦,2016年成立北京奕斯伟科技,2019年6月邀请王东升加盟,旗下有芯片设计与解决方案(奕斯伟计算)、硅材料(奕斯伟材料)和先进封测(颀中科技)三大业务,奕斯伟材料位于西安高新区,共投资两期,一期项目投资100多亿,已于 2020年7月投产,目前月产能达 30 万片,产能规模国内第一,同时,二期项目已启动建设,满产后总产能将达100万片/月,出货量有望跻身世界前六,预计该项目三期工程总投资将达400多亿元,得到众多资本追捧,妥妥的新晋独角兽,公司目前已提报IPO
国内小尺寸(3-6英寸)研磨硅片龙头,由浙大出身的徐一俊2010年在杭州创立,创立伊始,硅材料遭遇行业下滑,公司转产光伏产品又逢欧洲对华光伏双反市场需求下滑,一度陷入困境,2013年修建好转,公司业务大致上可以分为三部分,第一部分是小尺寸硅片,占比46%,大多数都用在功率器件(二极管、三极管、晶闸管等功率器件以及部分传感器、光电子器件等成熟的中低端分立器件产品),企业主要做的是抛光片的前一步研磨片的产品,第二部分为功率芯片及器件,占比32%,第三部分为单晶硅棒,在宁夏有生产基地,占比20%,公司于2014年挂牌新三板,2020年,年登陆主板,公司未来逐步往大尺寸硅片及抛光片方向发展
国内稀有的刻蚀用硅电极硅料及硅零部件供应商,由早稻田大学博士,前日本东芝陶瓷中国区总经理潘连胜2013年回国在辽宁锦州创立,企业成立时目标做硅片场,无奈当时投资大,融不到钱,于是选择了工艺流程相近、但投资规模更小的刻蚀用硅电极硅料的细分市场开始(全球规模仅4.1亿美金),主要供应给日本、韩国的厂商用来生产刻蚀用硅电极,2020年公司又进军硅零部件业务,用于刻蚀机设备原厂开发的硅零部件产品替换和保养。由于市场很细分,竞争少,公司积累足够,因此2020年成功登陆科创板,募集资金11亿,进军8英寸硅片厂(轻掺低缺陷),预计2024年投产
老牌国产8英寸硅片企业,公司前身是原北京有色金属研究总院的半导体硅材料研究室,2018年由日本RS科技参与混改,RS会长,福建人方永义担任大股东及董事长,公司基本的产品为半导体硅抛光片、刻蚀设备用硅材料、半导体区熔硅单晶,服务于中游的集成电路制造企业,主攻汽车电子、工业电子、航空航天的应用市场。 2019年在山东德州打造了大尺寸硅材料规模化基地,2022年底,科创板成功上市,逐步向12英寸扩展