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12月21日，记者从上海交通大学得悉，由该校教授肖文德领衔研制的具有自主知识产权的硅烷大规模出产新技能600吨/年中试出产项目，在河南平煤神马集团试车成功，并已接连安稳出产出纯度大于99.9999%的高品质硅烷产品。该项意图成功标志着高纯度硅烷大规模出产技能取得打破。
据了解，我国电子和大规模集成电路职业的芯片进口总额上一年高达2300亿美元。其间，一个重要原因是缺少高纯度晶体硅资料，而出产高纯晶体硅有必要以高纯硅烷为根底。此次研究人员以化学反应工程的抢手和前沿技能——多功能反应器为根底，立异性地提出了根据三氯氢硅的硅烷出产技能。本年9月建成的中试设备，一次性试车成功。
近来，河南省委书记郭庚茂、副省长张维宁比及项目现场调查调研，对硅烷法制备多晶硅技能产业化的形式立异给予高度肯定。