我国芯片设备新打破！国产离子注入机完成28nm工艺制程全掩盖
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发布时间：2024-10-15 18:40:07
据悉，离子注入机是芯片制作中的要害配备，当时，28纳米是芯片应用领域中掩盖面最广的老练制程。
新华社介绍，在芯片制作的完好过程中，需求掺入不一样的品种的元素按预订方法改动资料的电功能，这些元素以带电离子的方式被加快至预订能量并注入至特定半导体资猜中，离子注入机便是履行这一掺杂工艺的芯片制作设备。
此次，电科配备接连打破光路、操控、软件等要害模块的核心技术，构成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格式，完成了28纳米工艺制程全掩盖。
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