10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线典礼在德州天衢新区举办，该项目一期出资25亿元，达产后可完成12英寸抛光片月产10万片，是我国有研布局的重点项目，也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片出产线英寸的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量添加，经济效益显着，跟着集成电路制程和工艺的开展，硅片趋向大尺度化和制程精细化，12英寸硅片为当时及未来较长时间内的主流产品。

　　通线典礼前一日，记者走进山东有研艾斯出产车间，整个操作车间一干二净，出产硅片对洁净环境要求十分高，在每个车间，工人们都穿戴洁净服做相关操作，在线切开车间，单晶硅通过切开机操作被切开成厚度仅一毫米的硅片，而这仅仅是硅片切开的首个环节。

　　“硅片制造程序很杂乱，有线道工序，对平整度要求极高，硅片直径300毫米，而头发直径只要100微米，但终究硅片出厂时最高与最低的平整度差错不能超过0.1微米。”山东有研艾斯总经理闫志瑞举例介绍道。

　　清洗检测是硅片出厂前的最终一道程序，透过操作车间玻璃可以正常的看到，工作人员正操作专用仪器检查硅片外表颗粒数量及尺度。“咱们是山东仅有一家出产12英寸大硅片的企业，硅片直径越大，对资料和技能的要求就越高，制造难度也越大，出产的悉数进程触及亚微米乃至纳米级其他结构，工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和产品单位本钱继续下降操控等都是咱们应该考虑的要素。”闫志瑞告知记者。

　　据悉，12英寸硅片技能参数要求比8英寸更高，各工艺环节需求长时间堆集，其间单晶工艺是最为中心的技能，其决议了硅片尺度、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺点，山东有研艾斯霸占了单晶微缺点、硅片几许尺度、硅片外表沾污等要害技能指标，已在多家国内外闻名集成电路制造企业安排产品验证。

　　硅片是集成电路的柱石，有研先后在德州出资近100亿元在德州建造了7个项目，8英寸硅片、高纯溅射靶材等4个项目已建成投产。8月18日，刻蚀设备用硅资料及硅片扩产项目开工建造。总出资62亿元的12英寸大硅片项目，于上一年4月开工建造。

　　“从8英寸到12英寸不单单是尺度的变大。”闫志瑞坦言，现在12英寸是全世界直径最大的主流产品，硅片的直径越大，可利用的面积份额越高，每一个集成块的本钱就越低，追根到底是一个本钱的下降，该项目相同也是山东省仅有一家制造12英寸硅片的厂家，悉数达产后将构成360万片/年大硅片的出产规模，彻底改变我国依靠进口的形势。

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