10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片工业化项目通线量产典礼在德州天衢新区举办，该项目一期出资25亿元，达产后可完成12英寸抛光片月产10万片，是我国有研布局的重点项目，也是山东省内榜首条12英寸集成电路用大硅片出产线英寸的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量添加，经济效益显着，跟着集成电路制程和工艺的开展，硅片趋向大尺度化和制程精细化，12英寸硅片为当时及未来较长时间内的主流产品。

　　通线量产典礼前一日，记者走进山东有研艾斯出产车间，整个操作车间一干二净，出产硅片对洁净环境要求十分高，在每个车间，工人们都穿戴洁净服做相关操作，在线切开车间，单晶硅通过切开机操作被切开成厚度仅一毫米的硅片，而这仅仅是硅片切开的首个环节。

　　清洗检测是硅片出厂前的最终一道程序，透过操作车间玻璃可以正常的看到，工作人员正操作专用仪器检查硅片外表颗粒数量及尺度。“咱们是山东仅有一家出产12英寸大硅片的企业，硅片直径越大，对资料和技能的要求就越高，制造难度也越大，出产的悉数进程触及亚微米乃至纳米级其他结构，工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和产品单位本钱继续下降操控等都是咱们应该考虑的要素。”闫志瑞告知记者。

　　“从8英寸到12英寸不单单是尺度的变大。”闫志瑞坦言，现在12英寸是全世界直径最大的主流产品，硅片的直径越大，可利用的面积份额越高，每一个集成块的本钱就越低，追根到底是一个本钱的下降，该项目相同也是山东省仅有一家制造12英寸硅片的厂家，悉数达产后将构成360万片/年大硅片的出产规模，彻底改变我国依靠进口的局势。

　　德州集成电路工业历经10年开展，从无到有，从起步到起势，正处在加快开展期。现在，已开始构成包含半导体资料、芯片规划、封装测验、终端使用等环节的集成电路工业链。电子信息工业当选山东省战略性新鼓起的工业集群和特色工业集群，正争创国家级战新工业集群。德州现有电子信息规上企业123家，上一年完成主营收入近300亿元，其间半导体规上企业10家，完成盈余收入70亿元，近五年来，半导体工业产量年均增加近20%。德州集成电路工业已成为全省半导体工业高水平开展的重要增加极。

　　德州天衢新区是德州开展半导体工业的主阵地，现在，德州天衢新区依托我国有研“集成电路要害资料国家工程研究中心”，打造了占地800余亩，总出资93.4亿元的我国集成电路要害资料（德州）基地，包含8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅资料等七个项目。悉数达产后将构成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨，将成为北方最大的集成电路用大硅片出产基地，使山东省跻身硅资料工业国内榜首方阵、靶材工业遥遥领先。