10月16日,山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片工业化项目通线量产典礼在德州天衢新区举办,该项目一期出资25亿元,达产后可完成12英寸抛光片月产10万片,是我国有研布局的重点项目,也是山东省内榜首条12英寸集成电路用大硅片生产线英寸的2.5倍左右,单片可产出的芯片数量添加,经济效益显着,跟着集成电路制程和工艺的开展,硅片趋向大尺度化和制程精细化,12英寸硅片为当时及未来较长时间内的主流产品。
现在,德州天衢新区依托我国有研“集成电路要害资料国家工程研究中心”,打造了占地800余亩,总出资93.4亿元的我国集成电路要害资料(德州)基地,包含8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅资料等七个项目。悉数达产后将构成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨,将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地,使山东省跻身硅资料工业国内榜首方阵、靶材工业遥遥领先。
闪电新闻记者 周树茂 郑秀程 刘佳 德州台 王一 通讯员 韩哲 宋钊铭 报导